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　　国家标准《机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件》 由TC231（全国工业机械电气系统标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

　　主要起草单位中微半导体设备(上海)有限公司、北京机床研究所、上海微电子装备有限公司、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、沈阳拓荆科技有限公司、北京七星华创电子股份有限公司、中晟光电设备（上海）有限公司、理想太阳能（上海）有限公司、盛美半导体设备（上海）有限公司。

　　主要起草人李天笑、黄祖广、王海涛、田保峡、郭和平、沈红、孙东曦、潘菊凤、孙岩、刘忠武、张志强、李补忠、薛瑞娟。

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　　采标中文名称:机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件。